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高純氣體用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;干法氧化;與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。高純氦：用作氦氣球、氦氣飛艇的填充氣體，以取代其有高度可燃性的氫氣，與高純二氧化碳和高純氮氣一起用作二氧化碳激光切割機的激光氣體，液氦用于核磁共振成像儀的超導磁體，跟醫用氧氣一起用于深海作業的呼吸氣體，用作空調領域氦漏儀的檢漏氣體，跟高純氬氣一起用作特殊焊接的保護氣體，用作氣相色譜儀/氣質聯用儀等儀器的載氣。
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